機(jī)械手臂規(guī)格機(jī)械手臂型號(hào) STCR4160SN-300-CM被搬運(yùn)物 ~300mm晶圓(其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀,材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計(jì))晶圓吸附方式 真空吸附式機(jī)械結(jié)構(gòu)格式 圓柱坐標(biāo) 控制軸 4軸電機(jī)類型 步進(jìn)電機(jī)(采用閉環(huán)位置控制)可動(dòng)范圍 被搬運(yùn)物體中心到達(dá)距離 旋轉(zhuǎn)角度(θ軸) 升降(Z軸)575mm 340度 300mm搬運(yùn)速度(平均) 手臂(R...